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溅射二硫化钼基自润滑固体薄膜
发布日期:2018-12-17 05:34:06
作者:系统管理员
阅读次数:9687
系指以二硫化钼为主体添加少量软金属或其合金、稀土等的复合材料为靶材在高真空中溅射沉积于指定的基体上而形成的具有自润滑性能的薄膜。
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